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吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)
吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)
【授權(quán)公告號：CN207158294U；申請權(quán)利人：無錫市江松科技有限公司;發(fā)明設(shè)計人：董曉清; 黃文杰; 劉德方;】
摘要：
本實用新型涉及一種吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，搬運臂X軸平移模組包括一對水平驅(qū)動伺服電機(jī)、一對水平同步帶和一個滑動臺，每個水平同步帶連接有一水平移動架，兩個伺服電機(jī)分別單獨驅(qū)動一個水平同步帶并帶動移動架在滑動臺上平移；每個升降模組包括安裝板以及兩排沿Z軸方向平行設(shè)置的吸盤集成，安裝板通過安裝吊臂與一個水平移動架連接，吸盤集成一滑設(shè)于安裝板底部，吸盤集成二固設(shè)于所述安裝板底部；安裝板上設(shè)有水平驅(qū)動氣缸以帶動吸盤集成一平移；每排吸盤集成包括呈直線排列的吸盤，每個吸盤上設(shè)有垂直驅(qū)動氣缸。本實用新型可實現(xiàn)上片和下片的四工位的同時同步進(jìn)行，可大大提高工作效率，結(jié)構(gòu)緊湊，可實現(xiàn)硅片的精準(zhǔn)吸放。
主權(quán)項：
吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，其特征在于：由上至下依次包括吊裝頂架、搬運臂X軸平移模組和一對吸盤X軸平移/Y軸升降模組；所述搬運臂X軸平移模組包括一對水平驅(qū)動伺服電機(jī)、一對水平同步帶和一個滑動臺，每個水平同步帶連接有一水平移動架，兩個所述伺服電機(jī)分別單獨驅(qū)動一個水平同步帶并帶動所述移動架在所述滑動臺上沿X軸平移；每個所述吸盤X軸平移/Y軸升降模組由上至下包括安裝板以及兩排沿Z軸方向同高度設(shè)置的吸盤集成，所述安裝板通過安裝吊臂與一個所述水平移動架連接，其中吸盤集成一通過吸盤過渡板一滑動設(shè)置于所述安裝板底部，并沿X軸方向滑動，吸盤集成二通過吸盤過渡板二固設(shè)于所述安裝板底部；所述安裝板上設(shè)有水平驅(qū)動氣缸，其推桿與吸盤過渡板一連接以帶動吸盤集成一沿X軸平移；每排所述吸盤集成包括呈直線均勻間隔排列的若干吸盤，每個吸盤上沿Y軸方向設(shè)有垂直驅(qū)動氣缸，用于驅(qū)動所述吸盤沿Y軸升降。
要求：
1.吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，其特征在于：由上至下依次包括吊裝頂架、搬運臂X軸平移模組和一對吸盤X軸平移/Y軸升降模組；
所述搬運臂X軸平移模組包括一對水平驅(qū)動伺服電機(jī)、一對水平同步帶和一個滑動臺，每個水平同步帶連接有一水平移動架，兩個所述伺服電機(jī)分別單獨驅(qū)動一個水平同步帶并帶動所述移動架在所述滑動臺上沿X軸平移；
每個所述吸盤X軸平移/Y軸升降模組由上至下包括安裝板以及兩排沿Z軸方向同高度設(shè)置的吸盤集成，所述安裝板通過安裝吊臂與一個所述水平移動架連接，其中吸盤集成一通過吸盤過渡板一滑動設(shè)置于所述安裝板底部，并沿X軸方向滑動，吸盤集成二通過吸盤過渡板二固設(shè)于所述安裝板底部；所述安裝板上設(shè)有水平驅(qū)動氣缸，其推桿與吸盤過渡板一連接以帶動吸盤集成一沿X軸平移；每排所述吸盤集成包括呈直線均勻間隔排列的若干吸盤，每個吸盤上沿Y軸方向設(shè)有垂直驅(qū)動氣缸，用于驅(qū)動所述吸盤沿Y軸升降。
2.如權(quán)利要求1所述的吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，其特征在于：所述系統(tǒng)還包括設(shè)置于所述吸盤X軸平移/Y軸升降模組上的氣體匯流組件，作為所述水平驅(qū)動氣缸、所述垂直驅(qū)動氣缸和所述吸盤的氣流通道。
3.如權(quán)利要求1所述的吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，其特征在于：所述吸盤過渡板一通過一對導(dǎo)軌滑動設(shè)置于所述安裝板底部。
4.如權(quán)利要求1所述的吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，其特征在于：所述水平驅(qū)動氣缸的推桿通過浮動接頭與所述吸盤過渡板一連接。
5.如權(quán)利要求1所述的吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，其特征在于：每排所述吸盤集成包括7個吸盤。
6.如權(quán)利要求1所述的吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，其特征在于：每個所述吸盤上設(shè)有一個三軸垂直驅(qū)動氣缸。
7.如權(quán)利要求1所述的吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，其特征在于：所述系統(tǒng)由PLC控制器控制所述伺服電機(jī)、所述水平驅(qū)動氣缸和所述垂直驅(qū)動氣缸的工作參數(shù)。
8.如權(quán)利要求1所述的吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，其特征在于：所述吸盤上還設(shè)有傳感器，用于感應(yīng)硅片有無。
吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及機(jī)械搬運裝置，具體涉及一種吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)。
背景技術(shù)
為了提高晶體硅太陽電池的效率，通常需要減少太陽電池表面的反射，還需要對硅片表面進(jìn)行鈍化處理，以降低表面缺陷對于少數(shù)載流子的復(fù)合作用。板式PECVD系統(tǒng)即將多片硅片放置在一個石墨或碳纖維支架上(碳框載板)，放入板式PECVD主工藝機(jī)內(nèi)將SiNx分子沉積到硅片表面，SiNx膜被制備在硅表面上起到鈍化作用，以減少表面對可見光的反射。
未經(jīng)PECVD工藝處理的硅片需通過吸盤自傳送帶準(zhǔn)確轉(zhuǎn)移并放入碳框載板，而經(jīng)PECVD工藝處理后硅片的需從碳框載板上轉(zhuǎn)移放入成品輸送帶，而現(xiàn)有工藝多為單工位操作，即上片和下片在不同工位單獨進(jìn)行，搬運裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，占用空間較大，工藝流程復(fù)雜。
實用新型內(nèi)容
針對上述現(xiàn)有硅片上下片工藝存在上述缺陷，申請人進(jìn)行研究及改進(jìn)，提供一種吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，該系統(tǒng)可實現(xiàn)上片和下片的四工位的同時同步進(jìn)行，可大大提高工作效率，結(jié)構(gòu)緊湊，可實現(xiàn)硅片的精準(zhǔn)吸放。
為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用如下方案：
吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，由上至下依次包括吊裝頂架、搬運臂X軸平移模組和一對吸盤X軸平移/Y軸升降模組；
所述搬運臂X軸平移模組包括一對水平驅(qū)動伺服電機(jī)、一對水平同步帶和一個滑動臺，每個水平同步帶連接有一水平移動架，兩個所述伺服電機(jī)分別單獨驅(qū)動一個水平同步帶并帶動所述移動架在所述滑動臺上沿X軸平移；
每個所述吸盤X軸平移/Y軸升降模組由上至下包括安裝板以及兩排沿Z軸方向同高度設(shè)置的吸盤集成，所述安裝板通過安裝吊臂與一個所述水平移動架連接，其中吸盤集成一通過吸盤過渡板一滑動設(shè)置于所述安裝板底部，并沿X軸方向滑動，吸盤集成二通過吸盤過渡板二固設(shè)于所述安裝板底部；所述安裝板上設(shè)有水平驅(qū)動氣缸，其推桿與吸盤過渡板一連接以帶動吸盤集成一沿X軸平移；每排所述吸盤集成包括呈直線均勻間隔排列的若干吸盤，每個吸盤上沿Y軸方向設(shè)有垂直驅(qū)動氣缸，用于驅(qū)動所述吸盤沿Y軸升降。
作為優(yōu)選，所述系統(tǒng)還包括設(shè)置于所述吸盤X軸平移/Y軸升降模組上的氣體匯流組件，作為所述水平驅(qū)動氣缸、所述垂直驅(qū)動氣缸和所述吸盤的氣流通道。
作為優(yōu)選，所述吸盤過渡板一通過一對導(dǎo)軌滑動設(shè)置于所述安裝板底部。
作為優(yōu)選，所述水平驅(qū)動氣缸的推桿通過浮動接頭與所述吸盤過渡板一連接。
作為優(yōu)選，每排所述吸盤集成包括7個吸盤。
作為優(yōu)選，每個所述吸盤上設(shè)有一個三軸垂直驅(qū)動氣缸。
作為優(yōu)選，所述系統(tǒng)由PLC控制器控制所述伺服電機(jī)、所述水平驅(qū)動氣缸和所述垂直驅(qū)動氣缸的工作參數(shù)。
本實用新型的技術(shù)效果在于：
本實用新型搬運臂X軸平移模組中的兩個伺服電機(jī)分別獨立驅(qū)動一個水平同步帶，分別帶動兩組吸盤X軸平移/Y軸升降模組沿X軸平移，并在垂直驅(qū)動氣缸配合下進(jìn)行Y軸升降動作，實現(xiàn)了上片和下片的四工位(四排吸盤集成)的同時同步進(jìn)行，互不影響，大大提高了產(chǎn)能和工作效率。采用雙驅(qū)動模組，兩組吸盤X軸平移/Y軸升降模組共用一個滑動臺，并采用有別于傳統(tǒng)龍門式的吊裝安裝方式，占用空間少，大大簡化了內(nèi)部結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)緊湊，控制精度高，成本低；每側(cè)吸盤X軸平移/Y軸升降模組的兩排吸盤集成之間可在水平驅(qū)動氣缸驅(qū)動下做變距動作，以適應(yīng)輸送帶之間間距以及碳框載板規(guī)格，從而實現(xiàn)硅片的精準(zhǔn)吸放。
附圖說明
圖1為本實施例吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本實施例搬運臂X軸平移模組的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3為本實施例吸盤X軸平移/Y軸升降模組的結(jié)構(gòu)示意圖一。
圖4為本實施例吸盤X軸平移/Y軸升降模組的二。
圖中：1、吊裝頂架；2、伺服電機(jī)一；3、伺服電機(jī)二；4、水平同步帶一；5、水平同步帶二；6、滑動臺；7、水平滑動架一；8、水平滑動架二；9、安裝板；10、安裝吊臂；11、吸盤集成一；12、吸盤過渡板一；13、導(dǎo)軌；14、吸盤集成二；15、吸盤過渡板二；16、水平驅(qū)動氣缸；17、推桿；18、浮動接頭；19、吸盤；20、三軸垂直驅(qū)動氣缸；21、氣體匯流組件；22、傳感器。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式作進(jìn)一步說明。
如圖1、圖2、圖3和圖4所示，本實施例吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)由上至下依次包括吊裝頂架1、搬運臂X軸平移模組和一對吸盤X軸平移/Y軸升降模組。
搬運臂X軸平移模組包括一對水平驅(qū)動伺服電機(jī)(伺服電機(jī)一2和伺服電機(jī)二3)、一對水平同步帶(水平同步帶一4和水平同步帶二5)和一個滑動臺6，每個水平同步帶連接有一水平移動架(水平滑動架一7和水平滑動架二8)，伺服電機(jī)一2通過同步輪驅(qū)動水平同步帶一4并帶動水平滑動架一7在滑動臺6上沿X軸平移，伺服電機(jī)二3通過同步輪驅(qū)動水平同步帶二8并帶動水平滑動架二8在滑動臺6上沿X軸平移。
每個吸盤X軸平移/Y軸升降模組由上至下包括一個安裝板9以及兩排沿Z軸方向同高度設(shè)置的吸盤集成，兩側(cè)模組的安裝板9通過安裝吊臂10分別與水平移動架一7和水平移動架二8連接，吸盤集成一11固定在吸盤過渡板一12上，吸盤過渡板一12通過一對導(dǎo)軌13滑動設(shè)置于安裝板9底部，并沿X軸方向滑動，吸盤集成二14通過吸盤過渡板二15固設(shè)于安裝板底板9底部；安裝板9上設(shè)有水平驅(qū)動氣缸16，其推桿17通過浮動接頭18與吸盤過渡板一12連接以帶動吸盤集成一11沿X軸平移；每排吸盤集成包括呈直線均勻間隔排列的7個吸盤19，每個吸盤18上沿Y軸方向設(shè)有一個三軸垂直驅(qū)動氣缸20，用于驅(qū)動吸盤19沿Y軸升降。每個吸盤上設(shè)有傳感器22，用于感應(yīng)硅片有無。
本實施例系統(tǒng)還包括設(shè)置于吸盤X軸平移/Y軸升降模組上的氣體匯流組件21，作為水平驅(qū)動氣缸16、三軸垂直驅(qū)動氣缸20和吸盤19的氣流通道。
本實施例系統(tǒng)由PLC控制器控制伺服電機(jī)一2、伺服電機(jī)二3、水平驅(qū)動氣缸16和三軸垂直驅(qū)動氣缸20的工作參數(shù)，以實現(xiàn)自動控制。
工作時，當(dāng)滿載經(jīng)PECVD工藝處理硅片的碳框載板傳送到設(shè)定位置停下，本實施例搬運臂X軸平移模組中的兩個伺服電機(jī)分別獨立驅(qū)動一個水平同步帶，分別帶動兩組吸盤X軸平移/Y軸升降模組沿X軸平移，其中，一側(cè)模組中的吸盤集成一11和吸盤集成二14平移至碳框載板待吸硅片上方，對準(zhǔn)后，在三軸垂直驅(qū)動氣缸20驅(qū)動下沿Y軸下降并吸起兩排硅片，上升后再平移，將硅片放至成品輸送帶上運輸，同時，另一側(cè)模組中的吸盤集成一11和吸盤集成二14吸取未經(jīng)工藝處理的兩排硅片，平移至已取走硅片的碳框載板區(qū)域上方，對準(zhǔn)后，在三軸垂直驅(qū)動氣缸20驅(qū)動下沿Y軸下降并將硅片放入空載碳框載板上，從而實現(xiàn)了上片和下片的四工位(四排吸盤集成)的同時同步進(jìn)行，互不影響，大大提高了產(chǎn)能和工作效率。采用雙驅(qū)動模組，兩組吸盤X軸平移/Y軸升降模組共用一個滑動臺，并采用有別于傳統(tǒng)龍門式的吊裝安裝方式，占用空間少，大大簡化了內(nèi)部結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)緊湊，控制精度高，成本低；每側(cè)吸盤X軸平移/Y軸升降模組的兩排吸盤集成之間可在水平驅(qū)動氣缸16驅(qū)動下做變距動作，以適應(yīng)輸送帶之間間距以及碳框載板規(guī)格，以實現(xiàn)硅片的精準(zhǔn)吸放。
以上所舉實施例為本實用新型的較佳實施方式，僅用來方便說明本實用新型，并非對本實用新型作任何形式上的限制，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者，若在不脫離本實用新型所提技術(shù)特征的范圍內(nèi)，利用本實用新型所揭示技術(shù)內(nèi)容所作出局部改動或修飾的等效實施例，并且未脫離本實用新型的技術(shù)特征內(nèi)容，均仍屬于本實用新型技術(shù)特征的范圍內(nèi)。
【授權(quán)公告號：CN207158294U；申請權(quán)利人：無錫市江松科技有限公司;發(fā)明設(shè)計人：董曉清; 黃文杰; 劉德方;】
摘要：
本實用新型涉及一種吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，搬運臂X軸平移模組包括一對水平驅(qū)動伺服電機(jī)、一對水平同步帶和一個滑動臺，每個水平同步帶連接有一水平移動架，兩個伺服電機(jī)分別單獨驅(qū)動一個水平同步帶并帶動移動架在滑動臺上平移；每個升降模組包括安裝板以及兩排沿Z軸方向平行設(shè)置的吸盤集成，安裝板通過安裝吊臂與一個水平移動架連接，吸盤集成一滑設(shè)于安裝板底部，吸盤集成二固設(shè)于所述安裝板底部；安裝板上設(shè)有水平驅(qū)動氣缸以帶動吸盤集成一平移；每排吸盤集成包括呈直線排列的吸盤，每個吸盤上設(shè)有垂直驅(qū)動氣缸。本實用新型可實現(xiàn)上片和下片的四工位的同時同步進(jìn)行，可大大提高工作效率，結(jié)構(gòu)緊湊，可實現(xiàn)硅片的精準(zhǔn)吸放。
主權(quán)項：
吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，其特征在于：由上至下依次包括吊裝頂架、搬運臂X軸平移模組和一對吸盤X軸平移/Y軸升降模組；所述搬運臂X軸平移模組包括一對水平驅(qū)動伺服電機(jī)、一對水平同步帶和一個滑動臺，每個水平同步帶連接有一水平移動架，兩個所述伺服電機(jī)分別單獨驅(qū)動一個水平同步帶并帶動所述移動架在所述滑動臺上沿X軸平移；每個所述吸盤X軸平移/Y軸升降模組由上至下包括安裝板以及兩排沿Z軸方向同高度設(shè)置的吸盤集成，所述安裝板通過安裝吊臂與一個所述水平移動架連接，其中吸盤集成一通過吸盤過渡板一滑動設(shè)置于所述安裝板底部，并沿X軸方向滑動，吸盤集成二通過吸盤過渡板二固設(shè)于所述安裝板底部；所述安裝板上設(shè)有水平驅(qū)動氣缸，其推桿與吸盤過渡板一連接以帶動吸盤集成一沿X軸平移；每排所述吸盤集成包括呈直線均勻間隔排列的若干吸盤，每個吸盤上沿Y軸方向設(shè)有垂直驅(qū)動氣缸，用于驅(qū)動所述吸盤沿Y軸升降。
要求：
1.吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，其特征在于：由上至下依次包括吊裝頂架、搬運臂X軸平移模組和一對吸盤X軸平移/Y軸升降模組；
所述搬運臂X軸平移模組包括一對水平驅(qū)動伺服電機(jī)、一對水平同步帶和一個滑動臺，每個水平同步帶連接有一水平移動架，兩個所述伺服電機(jī)分別單獨驅(qū)動一個水平同步帶并帶動所述移動架在所述滑動臺上沿X軸平移；
每個所述吸盤X軸平移/Y軸升降模組由上至下包括安裝板以及兩排沿Z軸方向同高度設(shè)置的吸盤集成，所述安裝板通過安裝吊臂與一個所述水平移動架連接，其中吸盤集成一通過吸盤過渡板一滑動設(shè)置于所述安裝板底部，并沿X軸方向滑動，吸盤集成二通過吸盤過渡板二固設(shè)于所述安裝板底部；所述安裝板上設(shè)有水平驅(qū)動氣缸，其推桿與吸盤過渡板一連接以帶動吸盤集成一沿X軸平移；每排所述吸盤集成包括呈直線均勻間隔排列的若干吸盤，每個吸盤上沿Y軸方向設(shè)有垂直驅(qū)動氣缸，用于驅(qū)動所述吸盤沿Y軸升降。
2.如權(quán)利要求1所述的吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，其特征在于：所述系統(tǒng)還包括設(shè)置于所述吸盤X軸平移/Y軸升降模組上的氣體匯流組件，作為所述水平驅(qū)動氣缸、所述垂直驅(qū)動氣缸和所述吸盤的氣流通道。
3.如權(quán)利要求1所述的吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，其特征在于：所述吸盤過渡板一通過一對導(dǎo)軌滑動設(shè)置于所述安裝板底部。
4.如權(quán)利要求1所述的吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，其特征在于：所述水平驅(qū)動氣缸的推桿通過浮動接頭與所述吸盤過渡板一連接。
5.如權(quán)利要求1所述的吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，其特征在于：每排所述吸盤集成包括7個吸盤。
6.如權(quán)利要求1所述的吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，其特征在于：每個所述吸盤上設(shè)有一個三軸垂直驅(qū)動氣缸。
7.如權(quán)利要求1所述的吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，其特征在于：所述系統(tǒng)由PLC控制器控制所述伺服電機(jī)、所述水平驅(qū)動氣缸和所述垂直驅(qū)動氣缸的工作參數(shù)。
8.如權(quán)利要求1所述的吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，其特征在于：所述吸盤上還設(shè)有傳感器，用于感應(yīng)硅片有無。
吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及機(jī)械搬運裝置，具體涉及一種吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)。
背景技術(shù)
為了提高晶體硅太陽電池的效率，通常需要減少太陽電池表面的反射，還需要對硅片表面進(jìn)行鈍化處理，以降低表面缺陷對于少數(shù)載流子的復(fù)合作用。板式PECVD系統(tǒng)即將多片硅片放置在一個石墨或碳纖維支架上(碳框載板)，放入板式PECVD主工藝機(jī)內(nèi)將SiNx分子沉積到硅片表面，SiNx膜被制備在硅表面上起到鈍化作用，以減少表面對可見光的反射。
未經(jīng)PECVD工藝處理的硅片需通過吸盤自傳送帶準(zhǔn)確轉(zhuǎn)移并放入碳框載板，而經(jīng)PECVD工藝處理后硅片的需從碳框載板上轉(zhuǎn)移放入成品輸送帶，而現(xiàn)有工藝多為單工位操作，即上片和下片在不同工位單獨進(jìn)行，搬運裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，占用空間較大，工藝流程復(fù)雜。
實用新型內(nèi)容
針對上述現(xiàn)有硅片上下片工藝存在上述缺陷，申請人進(jìn)行研究及改進(jìn)，提供一種吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，該系統(tǒng)可實現(xiàn)上片和下片的四工位的同時同步進(jìn)行，可大大提高工作效率，結(jié)構(gòu)緊湊，可實現(xiàn)硅片的精準(zhǔn)吸放。
為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用如下方案：
吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)，由上至下依次包括吊裝頂架、搬運臂X軸平移模組和一對吸盤X軸平移/Y軸升降模組；
所述搬運臂X軸平移模組包括一對水平驅(qū)動伺服電機(jī)、一對水平同步帶和一個滑動臺，每個水平同步帶連接有一水平移動架，兩個所述伺服電機(jī)分別單獨驅(qū)動一個水平同步帶并帶動所述移動架在所述滑動臺上沿X軸平移；
每個所述吸盤X軸平移/Y軸升降模組由上至下包括安裝板以及兩排沿Z軸方向同高度設(shè)置的吸盤集成，所述安裝板通過安裝吊臂與一個所述水平移動架連接，其中吸盤集成一通過吸盤過渡板一滑動設(shè)置于所述安裝板底部，并沿X軸方向滑動，吸盤集成二通過吸盤過渡板二固設(shè)于所述安裝板底部；所述安裝板上設(shè)有水平驅(qū)動氣缸，其推桿與吸盤過渡板一連接以帶動吸盤集成一沿X軸平移；每排所述吸盤集成包括呈直線均勻間隔排列的若干吸盤，每個吸盤上沿Y軸方向設(shè)有垂直驅(qū)動氣缸，用于驅(qū)動所述吸盤沿Y軸升降。
作為優(yōu)選，所述系統(tǒng)還包括設(shè)置于所述吸盤X軸平移/Y軸升降模組上的氣體匯流組件，作為所述水平驅(qū)動氣缸、所述垂直驅(qū)動氣缸和所述吸盤的氣流通道。
作為優(yōu)選，所述吸盤過渡板一通過一對導(dǎo)軌滑動設(shè)置于所述安裝板底部。
作為優(yōu)選，所述水平驅(qū)動氣缸的推桿通過浮動接頭與所述吸盤過渡板一連接。
作為優(yōu)選，每排所述吸盤集成包括7個吸盤。
作為優(yōu)選，每個所述吸盤上設(shè)有一個三軸垂直驅(qū)動氣缸。
作為優(yōu)選，所述系統(tǒng)由PLC控制器控制所述伺服電機(jī)、所述水平驅(qū)動氣缸和所述垂直驅(qū)動氣缸的工作參數(shù)。
本實用新型的技術(shù)效果在于：
本實用新型搬運臂X軸平移模組中的兩個伺服電機(jī)分別獨立驅(qū)動一個水平同步帶，分別帶動兩組吸盤X軸平移/Y軸升降模組沿X軸平移，并在垂直驅(qū)動氣缸配合下進(jìn)行Y軸升降動作，實現(xiàn)了上片和下片的四工位(四排吸盤集成)的同時同步進(jìn)行，互不影響，大大提高了產(chǎn)能和工作效率。采用雙驅(qū)動模組，兩組吸盤X軸平移/Y軸升降模組共用一個滑動臺，并采用有別于傳統(tǒng)龍門式的吊裝安裝方式，占用空間少，大大簡化了內(nèi)部結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)緊湊，控制精度高，成本低；每側(cè)吸盤X軸平移/Y軸升降模組的兩排吸盤集成之間可在水平驅(qū)動氣缸驅(qū)動下做變距動作，以適應(yīng)輸送帶之間間距以及碳框載板規(guī)格，從而實現(xiàn)硅片的精準(zhǔn)吸放。
附圖說明
圖1為本實施例吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本實施例搬運臂X軸平移模組的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3為本實施例吸盤X軸平移/Y軸升降模組的結(jié)構(gòu)示意圖一。
圖4為本實施例吸盤X軸平移/Y軸升降模組的二。
圖中：1、吊裝頂架；2、伺服電機(jī)一；3、伺服電機(jī)二；4、水平同步帶一；5、水平同步帶二；6、滑動臺；7、水平滑動架一；8、水平滑動架二；9、安裝板；10、安裝吊臂；11、吸盤集成一；12、吸盤過渡板一；13、導(dǎo)軌；14、吸盤集成二；15、吸盤過渡板二；16、水平驅(qū)動氣缸；17、推桿；18、浮動接頭；19、吸盤；20、三軸垂直驅(qū)動氣缸；21、氣體匯流組件；22、傳感器。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式作進(jìn)一步說明。
如圖1、圖2、圖3和圖4所示，本實施例吊裝式四工位硅片吸盤搬運臂系統(tǒng)由上至下依次包括吊裝頂架1、搬運臂X軸平移模組和一對吸盤X軸平移/Y軸升降模組。
搬運臂X軸平移模組包括一對水平驅(qū)動伺服電機(jī)(伺服電機(jī)一2和伺服電機(jī)二3)、一對水平同步帶(水平同步帶一4和水平同步帶二5)和一個滑動臺6，每個水平同步帶連接有一水平移動架(水平滑動架一7和水平滑動架二8)，伺服電機(jī)一2通過同步輪驅(qū)動水平同步帶一4并帶動水平滑動架一7在滑動臺6上沿X軸平移，伺服電機(jī)二3通過同步輪驅(qū)動水平同步帶二8并帶動水平滑動架二8在滑動臺6上沿X軸平移。
每個吸盤X軸平移/Y軸升降模組由上至下包括一個安裝板9以及兩排沿Z軸方向同高度設(shè)置的吸盤集成，兩側(cè)模組的安裝板9通過安裝吊臂10分別與水平移動架一7和水平移動架二8連接，吸盤集成一11固定在吸盤過渡板一12上，吸盤過渡板一12通過一對導(dǎo)軌13滑動設(shè)置于安裝板9底部，并沿X軸方向滑動，吸盤集成二14通過吸盤過渡板二15固設(shè)于安裝板底板9底部；安裝板9上設(shè)有水平驅(qū)動氣缸16，其推桿17通過浮動接頭18與吸盤過渡板一12連接以帶動吸盤集成一11沿X軸平移；每排吸盤集成包括呈直線均勻間隔排列的7個吸盤19，每個吸盤18上沿Y軸方向設(shè)有一個三軸垂直驅(qū)動氣缸20，用于驅(qū)動吸盤19沿Y軸升降。每個吸盤上設(shè)有傳感器22，用于感應(yīng)硅片有無。
本實施例系統(tǒng)還包括設(shè)置于吸盤X軸平移/Y軸升降模組上的氣體匯流組件21，作為水平驅(qū)動氣缸16、三軸垂直驅(qū)動氣缸20和吸盤19的氣流通道。
本實施例系統(tǒng)由PLC控制器控制伺服電機(jī)一2、伺服電機(jī)二3、水平驅(qū)動氣缸16和三軸垂直驅(qū)動氣缸20的工作參數(shù)，以實現(xiàn)自動控制。
工作時，當(dāng)滿載經(jīng)PECVD工藝處理硅片的碳框載板傳送到設(shè)定位置停下，本實施例搬運臂X軸平移模組中的兩個伺服電機(jī)分別獨立驅(qū)動一個水平同步帶，分別帶動兩組吸盤X軸平移/Y軸升降模組沿X軸平移，其中，一側(cè)模組中的吸盤集成一11和吸盤集成二14平移至碳框載板待吸硅片上方，對準(zhǔn)后，在三軸垂直驅(qū)動氣缸20驅(qū)動下沿Y軸下降并吸起兩排硅片，上升后再平移，將硅片放至成品輸送帶上運輸，同時，另一側(cè)模組中的吸盤集成一11和吸盤集成二14吸取未經(jīng)工藝處理的兩排硅片，平移至已取走硅片的碳框載板區(qū)域上方，對準(zhǔn)后，在三軸垂直驅(qū)動氣缸20驅(qū)動下沿Y軸下降并將硅片放入空載碳框載板上，從而實現(xiàn)了上片和下片的四工位(四排吸盤集成)的同時同步進(jìn)行，互不影響，大大提高了產(chǎn)能和工作效率。采用雙驅(qū)動模組，兩組吸盤X軸平移/Y軸升降模組共用一個滑動臺，并采用有別于傳統(tǒng)龍門式的吊裝安裝方式，占用空間少，大大簡化了內(nèi)部結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)緊湊，控制精度高，成本低；每側(cè)吸盤X軸平移/Y軸升降模組的兩排吸盤集成之間可在水平驅(qū)動氣缸16驅(qū)動下做變距動作，以適應(yīng)輸送帶之間間距以及碳框載板規(guī)格，以實現(xiàn)硅片的精準(zhǔn)吸放。
以上所舉實施例為本實用新型的較佳實施方式，僅用來方便說明本實用新型，并非對本實用新型作任何形式上的限制，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者，若在不脫離本實用新型所提技術(shù)特征的范圍內(nèi)，利用本實用新型所揭示技術(shù)內(nèi)容所作出局部改動或修飾的等效實施例，并且未脫離本實用新型的技術(shù)特征內(nèi)容，均仍屬于本實用新型技術(shù)特征的范圍內(nèi)。
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